特種氣體-譜純氣體|氣源充足-特種氣體廠：

 隨著國產(chǎn)化的推進，部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應，占據(jù)市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競爭力，質(zhì)量管理，品牌效應方面來說，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個必然方向，這就要求特種氣體的分離技術不斷進步以滿足純度的要求。特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。

 目前，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應通風干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當?shù)奈ｋU標記(例如、、有毒等) 。 　

 電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應通風干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當?shù)奈ｋU標記(例如、、有毒等) 。 　特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞，是指那些在特定領域中應用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。

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